Концентраційні та розмірні ефекти в електрофізичних властивостях тонких плівок на основі пермалою та срібла

Abstract

У роботі було проведено комплексне дослідження структурно-фазового стану та електрофізичні властивості тонко плівкових зразків на основі феромагнітного сплаву пермалою Ni80Fe20 та немагнітного металу Ag для широкого діапазону концентрації та у діапазоні товщин 20-100 нм. Для осадження тонкоплівкових систем був використаний метод одночасної електронно-променевої конденсації за кімнатної температури. Хімічний склад і співвідношення концентрацій елементів контролювалися методом енергодисперсійного аналізу. Дослідження фазового складу зразків проводилося методами електронографії. Було показано, що фазовий стан плівкових систем залишається незмінним у процесі відпалювання до 500 К. Отримані концентраційні та розмірні залежності питомого опору та температурного коефіцієнту опору. Показано, що на концентраційних залежностях питомого опору та термічного коефіцієнту опору спостерігаються відповідні максимум і мінімум при концентрації немагнітної компоненти 50-60 aт.%. Характер розмірних залежностей питомого опору і термічного коефіцієнту опору пов'язаний з проявом розмірного ефекту у тонкоплівкових матеріалах.