Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/7269
Повний запис метаданих
Поле DC | Значення | Мова |
---|---|---|
dc.contributor.author | Лоп'янко, Михайло Антонович | - |
dc.contributor.author | Никируй, Ростислав Іванович | - |
dc.contributor.author | Ткачук, Андрій Іванович | - |
dc.date.accessioned | 2020-05-17T13:26:42Z | - |
dc.date.available | 2020-05-17T13:26:42Z | - |
dc.date.issued | 2010-09-15 | - |
dc.identifier.citation | М.А. Лоп’янко. Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології/ М.А. Лоп’янко, Р.І. Никируй, А.І. Ткачук// Фізика і хімія твердого тіла, Т. 11, № 4 (2010) С. 876-883 | uk_UA |
dc.identifier.issn | 1729-4428 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/7269 | - |
dc.description.abstract | Методами математичного планування багатофакторних експериментів одержано рівняння регресії, які визначають залежність електричних параметрів епітаксійних плівок РbТe на сколах (111) ВаF2 від технологічних факторів вирощування з парової фази методом гарячої стінки. Визначено значення температур випаровування Тв підкладки Тп та стінок камери Тс, при яких формуються тонкі плівки із оптимальними електричними параметрами. | uk_UA |
dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
dc.publisher | Прикарпатський національний університет ім. В. Стефаника | uk_UA |
dc.subject | гаряча стінка | uk_UA |
dc.subject | плюмбум телурид | uk_UA |
dc.title | Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Розташовується у зібраннях: | Статті та тези (ФТФ) |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
2010 т.11 №4.pdf | 468.8 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.