Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал:
http://hdl.handle.net/123456789/7269
Назва: | Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології |
Автори: | Лоп'янко, Михайло Антонович Никируй, Ростислав Іванович Ткачук, Андрій Іванович |
Ключові слова: | гаряча стінка плюмбум телурид |
Дата публікації: | 15-вер-2010 |
Видавництво: | Прикарпатський національний університет ім. В. Стефаника |
Бібліографічний опис: | М.А. Лоп’янко. Парофазне осадження тонких плівок телуриду свинцю. І. Планування та оптимізація технології/ М.А. Лоп’янко, Р.І. Никируй, А.І. Ткачук// Фізика і хімія твердого тіла, Т. 11, № 4 (2010) С. 876-883 |
Короткий огляд (реферат): | Методами математичного планування багатофакторних експериментів одержано рівняння регресії, які визначають залежність електричних параметрів епітаксійних плівок РbТe на сколах (111) ВаF2 від технологічних факторів вирощування з парової фази методом гарячої стінки. Визначено значення температур випаровування Тв підкладки Тп та стінок камери Тс, при яких формуються тонкі плівки із оптимальними електричними параметрами. |
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): | http://hdl.handle.net/123456789/7269 |
ISSN: | 1729-4428 |
Розташовується у зібраннях: | Статті та тези (ФТФ) |
Файли цього матеріалу:
Файл | Опис | Розмір | Формат | |
---|---|---|---|---|
2010 т.11 №4.pdf | 468.8 kB | Adobe PDF | Переглянути/Відкрити |
Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.