Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/7242
Title: Zn+/P+ та Zn+/As+ коімплантація в монокристалах InP
Other Titles: Zn+/P+ and Zn+/As+ co-implantation in InP single crystals
Authors: Терлецький, Андрій Іванович
Урсакі, Вячеслав
Тігіняну, Іван Михайлович
Ікізлі, Вікторія
Пишна, Наталія Борисівна
Радауцан, Сергій Іванович
Keywords: подвійна імплантація
фосфід індію
активація домішки
інверсія типу провідності
Issue Date: 1996
Publisher: Матеріали 19-ї щорічної конференції з напівпровідників, 12-17 жовтня 1996 р, Сіная, Румунія
Citation: Ursaki V. V. Zn+/P+ and Zn+/As+ co-implantation in InP single crystals / V. V. Ursaki, I. M. Tiginyanu, V. M. Ichizli, A. I. Terletsky, N. B. Pyshnaya, S. I. Radautsan // Proceeding 19th Edition of Annual Semiconductor Conf. October 12-17, Sinaia, Romania. – 1996. – pp. 401-404.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/7242
Appears in Collections:Статті та тези (ФТФ)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
CAS-96.pdf394.34 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.