DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/6914| Title: | Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення |
| Other Titles: | Nanotexturing of Silicon by Metal-Assisted Chemical Etching |
| Authors: | Бережанський, Є. І. Нічкало, Степан Ігорович Єрохов, Валерій Юрійович Дружинін, Анатолій Олександрович |
| Keywords: | кремнієві наноструктури фотоелектричний перетворювач каталітичне хімічне травлення |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
| Citation: | Бережанський Є. І. Нанотекстурування кремнію методом каталітичного хімічного травлення / Є. І. Бережанський, С. І. Нічкало, В. Ю. Єрохов, А. О. Дружинін // Фізика і хімія твердого тіла. - 2015. - Т. 16. - № 1. - С. 140-144. |
| Abstract: | В даній статті розглянуто метод каталітичного хімічного травлення (MacEtch) як один з ефективних способів структурування кремнієвої поверхні з можливістю ефективного управління геометричними параметрами структур та їх розподілом на поверхні підкладки. Представлено технологію текстурування поверхні та отримано структуровані поверхні кремнію з регулярними та нерегулярними типами поверхонь. Дана технологія може бути застосована для нанотекстурування поверхонь кремнієвих фотоелетричних перетворювачів. Запропоновано модель фотоелектричного перетворювача з кратероподібною текстурою поверхні кремнієвої пластини з підвищеним ККД. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/6914 |
| Appears in Collections: | Т. 16, № 1 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 726-2313-1-SM.pdf | 405.54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.