Особливості кристалічної структури епітаксійних LaGa - заміщених плівок залізо-ітрієвого ґранату. Визначення ступеня дефектності

Abstract

Результати досліджень проведених у даній роботі формують цілісну картину деформацій набутих плівкою в процесі росту та післяростової обробки За допомогою комплексного термодинамічного та кристалохімічного аналізу проведено оцінку наявності технологічних домішок в структурах LaGa:ЗІҐ/ҐҐҐ, і вивчено їхній вплив на структурну досконалість плівок, а також приведено результати відновлення із даних рентгенодифрактометричної тензометрії повного тензора деформацій та недіагональних елементів тензора дисторсії, які виникають в епітаксійній гетероструктурі в процесі вирощування та при подальшій технологічній обробці. Встановлено наявність значної анізотропії планарних механічних характеристик епітаксійних плівок, які виникають після їх порізки.