DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/6817Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Мандзюк, Володимир Ігорович | - |
| dc.contributor.author | Когут, Ігор Тимофійович | - |
| dc.date.accessioned | 2020-05-05T11:19:54Z | - |
| dc.date.available | 2020-05-05T11:19:54Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | В.І. Мандзюк, І.Т. Когут. Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. – Івано-Франківськ: Нова зоря, 2008. – 154 с. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/6817 | - |
| dc.description.abstract | В посібнику викладені фізико-технологічні основи пристроїв мікросистемної техніки (МСТ). Подано технологію підготовки напівпровід-никових пластин з використанням методів механічної і хімічної обробки, процеси формування діелектричних плівок на напівпровідникових пласти-нах, основи літографічних процесів. Розглянуто основні технології виготов¬лення і принципи функціонування сенсорних і актюаторних елементів МСТ, які отримали найбільше поширення за останні десятиріччя. | uk_UA |
| dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
| dc.publisher | Нова зоря | uk_UA |
| dc.title | Фізико-технологічні основи мікросистемної техніки. | uk_UA |
| dc.type | Book | uk_UA |
| Appears in Collections: | Навчальні матеріали (ФТФ) | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Microsystem technics.pdf | 3.3 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.