Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/123456789/567
Title: Розрахунок теплопровідності плівок Si1-xGex з неоднорідним складом
Other Titles: Calculations of the Thermal Conductivity of Si1-xGex Films with Nonuniform Composition
Authors: Курилюк, Василь Васильович
Кріт, О. М.
Keywords: коефіцієнт теплопровідності
плівка
кремній
рівняння Больцмана
Issue Date: 2018
Citation: Курилюк В. В. Розрахунок теплопровідності плівок Si1-xGex з неоднорідним складом / В. В. Курилюк, О. М. Кріт // Фізика і хімія твердого тіла. - 2018. - Т. 19. - № 1. - С. 48-52.
Abstract: З використанням рівняння Больцмана в наближенні часу релаксації розраховано температурні залежності коефіцієнта теплопровідності кремній-германієвих плівок з неоднорідним розподілом германію по товщині структури. Показано, що теплопровідність плівок Si1-xGex зменшується зі збільшенням ступеня їх неоднорідності. Проаналізовано механізми фононного розсіювання в досліджуваних плівках та встановлено домінуючі процеси, якими визначаються процеси теплоперенесення в області високих і низьких температур.
URI: http://hdl.handle.net/123456789/567
Appears in Collections:Т.19 №1

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2380-8366-1-PB.pdf553.17 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.