Переваги прямого лазерного запису для збільшення роздільної здатності процесу виготовлення дифракційних оптичних елементів

Abstract

Розроблено та впроваджено технологію прямого лазерного запису кодових послідовностей на модуляційних дисках з забезпеченням високої точності і надійності процесу формування структурних елементів. Показано основні переваги застосування прямого лазерного запису у порівнянні з методом контактної літографії при формуванні елементів субмікронного розміру. Запропонована технологія характеризується високою роздільною здатністю і гнучкістю у налаштуванні параметрів системи оптичного запису, що робить її придатною для широкого спектра застосувань у галузі мікрооптики. Прямий оптичний запис як перспективний підхід збільшення роздільної здатності оптичних систем, що застосовуються при записі дифракційних оптичних елементів субмікронного розміру, оскільки відповідна технологія забезпечує можливість створення складних оптичних структур. У процесі роботи також було проведено детальну класифікацію актуальних підходів, що можуть бути використані для подальшого збільшення роздільної здатності системи оптичного запису, таких як нанесення на поверхню фоточутливого шару насиченого поглинача, використання лазерного пучка з інтенсивністю, що моделюється функцією Бесселя, а також синтез фоточутливих матеріалів з оптимізованою експозиційною характеристикою, що забезпечує високу ефективність та точність у процесі прямого лазерного запису.