DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/1819| Title: | Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed GaAs structures of LSI/VLSI |
| Other Titles: | Розробка технології надпровідної багаторівневої металізації для високошвидкісних GaAs структур ВІС/НВІС |
| Authors: | Новосядлий, Степан Петрович Котик, Михайло Васильович Дзундза, Богдан Степанович Грига, Володимир Михайлович Новосядлий, Святослав Володимирович Мандзюк, Володимир Ігорович |
| Keywords: | комплементарні структури епітаксія інтегральні схеми карбонові плівки надпровідність магнетронне осадження |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | НПП ЧП «Технологічний Центр» |
| Citation: | S. Novosiadlyi, M. Kotyk, B. Dzundza, V. Gryga, S. Novosiadlyi, V. Mandzyuk. Development of technology of superconducting multilevel wiring in speed GaAs structures of LSI/VLSI // Eastern-European Journal of Enterprise Technologies. 2018. V. 1, N. 5(91). P. 53-62. |
| Series/Report no.: | V. 1, N. 5(91); |
| Abstract: | Розглянуто технологічні аспекти використання надпровідних матеріалів та показано можливість виготовлення мішеней для магнетронного осадження плівок для формування кріопровідної розводки в структурах ВІС на основі GaAs. Визначені технологічні методи і режими осадження та розроблено високоефективну технологію виготовлення кріосплавів на основі Al, Nb, V з домішками Si, Ge та РЗМ та магнетронного формування надпровідних плівок із сплавів алюмінію, ніобію та ванадію |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/1819 |
| ISSN: | 1729-3774 |
| Appears in Collections: | Статті та тези (ФТФ) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 123143-266188-1-PB.pdf | 1.59 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.