Методичні вказівки до виконання лабораторних робіт із курсу “Технології мікро- та наноелектроніки” для студентів спеціальності 171 “Електроніка” [Електронне видання] .

Abstract

Лабораторний практикум містить методичні рекомендації для проведення лабораторних занять з дисципліни “Технології мікро- та наноелектроніки” та охоплює питання, що стосуються моделювання основних технологічних операцій, які використовуються при виготовленні пристроїв мікро- та наноелектроніки. Розроблений у відповідності з робочою програмою навчальної дисципліни, чинним навчальним планом підготовки фахівців за спеціальністю 171 “Електроніка”.