Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/15295
Назва: Аналіз дефектної структури іонно-імплантованих шарів монокристалічних матеріалів
Інші назви: Analysis of the Defect Structure of Ion-Implanted Single Crystal Layers
Автори: Остафійчук, Богдан Костянтинович
Яремій, Іван Петрович
Яремій, Софія Іванівна
Томин, Уляна Олексіївна
Уманців, Уманців М. М.
Ключові слова: іонна імплантація
профіль деформації
аморфізація
Дата публікації: 2012
Видавництво: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Бібліографічний опис: Остафійчук Б. К. Аналіз дефектної структури іонно-імплантованих шарів монокристалічних матеріалів / Б. К. Остафійчук, І. П. Яремій, С. І. Яремій, У. О.Томин, М. М. Уманців // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 4. - С. 883-889.
Короткий огляд (реферат): Запропоновано методику визначення параметрів дефектів у іонно-імплантованих шарах монокристалів, КДВ яких мають додаткову осциляційну структуру протяжністю до кількох градусів. Виявлено найбільш чутливі до дефектів ділянки кривих дифракційного відбивання та показано, що використання відбивань з малими і великими значеннями статичного фактора Дебая-Валлера дає можливість однозначно визначити тип та характеристики дефектів у порушеному шарі.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/15295
Розташовується у зібраннях:Т. 13, № 4

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
1304-06.pdf293.69 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.