DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/15295| Title: | Аналіз дефектної структури іонно-імплантованих шарів монокристалічних матеріалів |
| Other Titles: | Analysis of the Defect Structure of Ion-Implanted Single Crystal Layers |
| Authors: | Остафійчук, Богдан Костянтинович Яремій, Іван Петрович Яремій, Софія Іванівна Томин, Уляна Олексіївна Уманців, Уманців М. М. |
| Keywords: | іонна імплантація профіль деформації аморфізація |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
| Citation: | Остафійчук Б. К. Аналіз дефектної структури іонно-імплантованих шарів монокристалічних матеріалів / Б. К. Остафійчук, І. П. Яремій, С. І. Яремій, У. О.Томин, М. М. Уманців // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 4. - С. 883-889. |
| Abstract: | Запропоновано методику визначення параметрів дефектів у іонно-імплантованих шарах монокристалів, КДВ яких мають додаткову осциляційну структуру протяжністю до кількох градусів. Виявлено найбільш чутливі до дефектів ділянки кривих дифракційного відбивання та показано, що використання відбивань з малими і великими значеннями статичного фактора Дебая-Валлера дає можливість однозначно визначити тип та характеристики дефектів у порушеному шарі. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/15295 |
| Appears in Collections: | Т. 13, № 4 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 1304-06.pdf | 293.69 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.