DSpace JSPUI
DSpace preserves and enables easy and open access to all types of digital content including text, images, moving images, mpegs and data sets
Learn More
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/14923| Title: | Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів |
| Other Titles: | Sectional Vacuum Heaters for Vapor-Phase Condensates |
| Authors: | Фреїк, Дмитро Михайлович Яворський, Ярослав Святославович Потяк, Володимир Юрійович Яворський, Ростислав Святославович |
| Keywords: | тонкі плівки вакуумні нагрівники паро фазні методи |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" |
| Citation: | Фреїк Д. М. Секційні вакуумні нагрівачі для отримання парофазних конденсатів / Д. М Фреїк, Я. С. Яворський, В. Ю. Потяк, Р. С. Яворський // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 509-511. |
| Abstract: | Розроблено конструкції вакуумних секційних нагрівачів, за допомогою яких можна осаджувати паро фазними методами тонкі плівки і наноструктури напівпровідникових сполук як різної товщини при заданій температурі осадження, так і однакової товщини при різних температурах осадження, а також двошарових структур, у єдиному технологічному циклі без розгерметизації вакуумної системи. |
| URI: | http://hdl.handle.net/123456789/14923 |
| Appears in Collections: | Т. 13, № 2 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| !1302-38.pdf | 350.99 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.