Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/123456789/14241
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Кулініч, Олег Анатолійович | - |
dc.date.accessioned | 2022-12-13T12:47:05Z | - |
dc.date.available | 2022-12-13T12:47:05Z | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.citation | Кулініч О. А. Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок / О. А. Кулініч // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 336-339. | uk_UA |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/123456789/14241 | - |
dc.description.abstract | В даній роботі на основі використання сучасних методів досліджень в комбінації з методами хімічного селективного травлення вивчалася структура приповерхневого шару кремнію після окислення і іонного легування яка складалась з області полікристалічного кремнію і області, що містить дислокаційні сітки. Проведений порівняльний аналіз властивостей дислокаційних сіток, що виникають при окисленні і легуванні. Показано, що дислокаційні сітки можуть служити основою для створення меза (проміжної) структури в різних деформаційних методах отримання квантових точок. | uk_UA |
dc.language.iso | uk_UA | uk_UA |
dc.publisher | ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника" | uk_UA |
dc.subject | кремній | uk_UA |
dc.subject | окислення | uk_UA |
dc.subject | дефекти | uk_UA |
dc.subject | іонне легування | uk_UA |
dc.title | Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок | uk_UA |
dc.title.alternative | Dislocation Nets as Basis of Bellow-Structure is in the Deformation Methods of Receipt of Quantum Points | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
Appears in Collections: | Т. 13, № 2 |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
!1302-05.pdf | 424.71 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.