Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://hdl.handle.net/123456789/14241
Назва: Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок
Інші назви: Dislocation Nets as Basis of Bellow-Structure is in the Deformation Methods of Receipt of Quantum Points
Автори: Кулініч, Олег Анатолійович
Ключові слова: кремній
окислення
дефекти
іонне легування
Дата публікації: 2012
Видавництво: ДНВЗ "Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника"
Бібліографічний опис: Кулініч О. А. Дислокаційні сітки як основа меза-структури в деформаційних методах отримання квантових точок / О. А. Кулініч // Фізика і хімія твердого тіла. - 2012. - Т. 13. - № 2. - С. 336-339.
Короткий огляд (реферат): В даній роботі на основі використання сучасних методів досліджень в комбінації з методами хімічного селективного травлення вивчалася структура приповерхневого шару кремнію після окислення і іонного легування яка складалась з області полікристалічного кремнію і області, що містить дислокаційні сітки. Проведений порівняльний аналіз властивостей дислокаційних сіток, що виникають при окисленні і легуванні. Показано, що дислокаційні сітки можуть служити основою для створення меза (проміжної) структури в різних деформаційних методах отримання квантових точок.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://hdl.handle.net/123456789/14241
Розташовується у зібраннях:Т. 13, № 2

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
!1302-05.pdf424.71 kBAdobe PDFПереглянути/Відкрити


Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.