Структурне розупорядкування приповерхневого шару імплантованих іонами кремнію плівок залізо-ітрієвого ґранату

Abstract

В роботі представлені результати досліджень приповерхневих шарів плівок залізо-ітрієвого ґранату, імплантованих іонами кремнію з енергією 90 кеВ та дозами 1×1013 , 6×1013 та 2×1014 см-2 . Проведене математичне моделювання процесу імплантації іонів кремнію у плівку ЗІҐ показало, що утворення пар Френкеля та дефектів більш складного типу є рівноймовірним. Теоретично розраховано профіль концентрації радіаційних дефектів, який, в основному, формується дефектами, утвореними внаслідок пружних взаємодій іона-імплантанта з атомами мішені. Експериментально встановлено, що імплантація іонів кремнію у плівки ЗІҐ призводить до утворення в приповерхневому шарі монотонно спадних профілів відносної деформації.