Хімічна обробка CdTe та твердих розчинів ZnxCd1-xTe і Cd0,2Hg0,8Te водними розчинами HNO3–НІ–лактатна кислота

Abstract

Методом диску, що обертається, досліджено кінетику процесів розчинення CdTe, Zn_xCd1-xTe та Cd0,2Hg0,8Te в йодвиділяючих травильних композиціях HNO3–НІ–лактатна кислота. Визначено залежності швидкості травлення вказаних матеріалів від концентрації окиснювача та органічного розчинника. Оптимізовано склади поліруючих травників і режими хіміко-динамічного полірування поверхні досліджуваних напівпровідникових матеріалів. Встановлено вплив вмісту Zn та Hg у складі твердих розчинів на якість отриманої поверхні у травильних сумішах. Ключові слова:напівпровідник, тверді розчини, монокристал, травник, поверхня, хімічне травлення, полірування.